講演情報
[17a-K304-3]高速フィルタードアーク蒸着装置における AlCrN 膜形成時の圧力変化
〇大根田 みらの1、渡辺 聖也1、佐野 絃貴1、越智 将伍1、佐野 春1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー（株）)
キーワード：
圧力制御、窒化アルミクロム、真空アーク蒸着
ドロップレットフリーのAlCrN膜を作製するため，成膜時には適切な圧力範囲（圧力設定，ガス導入時のガス流量）を選択する必要がある。本研究では，成膜時を想定した放電試験を実施することにより放電前後の圧力変化を調査し，圧力一定で放電が安定する条件，圧力が減少し，放電が安定する条件，圧力が減少し，放電が安定しない条件を確認した。