[17a-K304-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

11:00 〜 11:15

[17a-K304-7] 1-C₅F₁₀分子の電子物性と解離

〇林 俊雄、石川 健治、関根 誠、堀 勝

キーワード：

1-C5F10、エッチングガス、一次解離過程

先の報告で1-C₄F₈の解離特性について報告した。今回は1-C₅F₁₀の解離特性について解析を行い1-C₃F₆および1-C₄F₈の解離特性と比較し、p電子の影響が解離にどのような影響を与えるかを調べたのでその結果について報告する。