[17a-K304-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

11:30 〜 11:45

[17a-K304-9] 酸素プラズマとギ酸蒸気処理によるPt薄膜のサイクルエッチング

〇三輪 和弘¹、グエン ﾃｨ ﾄｩｲ ガー¹、赤木 大二郎²、富澤 毅²、堀 勝¹、石川 健治¹ (1.名大低温プラズマ研、2.AGC（株）)

キーワード：

サイクルエッチング、貴金属、白金