講演情報
[17a-K308-3]PDF (二体分布関数) 解析を用いたアモルファスSiO2薄膜の局所構造解析
〇伊藤 孝憲1、宋 哲昊1、阿部 満理奈1、稲葉 雅之1、荻生 秀作1、浅田 敏広1 (1.（株）日産アーク)
キーワード：
アモルファス、構造解析、PDF解析
アモルファス薄膜は様々な機能を有し期待されている。薄膜の構造は性能と密接に関係しているが、未だにアモルファス薄膜の構造解析は困難である。そこで本研究ではSi基板上のアモルファスSiO2の局所的構造はTEM電子線回折によるPDF（Pair Distribution Functions）解析、平均的な構造は放射光X線を用いた斜入射（GI）XRDを用いたPDF解析によって議論したので報告する。