[17a-K309-1~9] 3.12 半導体光デバイス

10:00 〜 10:15

[17a-K309-1] ガスアウトチャネルを有する親水性直接貼付InP/Si基板におけるボイド密度のチャネル寸法依存性

〇(DC)趙 亮¹、黒井 瑞生¹、班 朝克¹、下村 和彦¹ (1.上智大工)

キーワード：

親水性直接貼付、シリコンフォトニクス、Gas Out Channe