[17a-K309-1~9] 3.12 半導体光デバイス

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[17a-K309-6] 塩素系中性粒子ビームによるAlGaInP赤色マイクロLEDのためのGaP加工特性

〇(B)栗林 高大¹、大堀 大介¹、王 学論^3,4、遠藤 和彦^1,2、寒川 誠二^4,1 (1.東北大流体研、2.産総研、3.名大IMaSS、4.NYCU)

キーワード：

中性粒子ビーム、GaP加工