[17a-K401-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

10:00 〜 10:15奨励賞エントリー

[17a-K401-5] AlGaN/GaN上へのScAlN薄膜の低温エピタキシャル成長

〇太田 隼輔¹、奥田 朋也²、久保田 航瑛³、前田 拓也^3,4、河原 孝彦⁵、牧山 剛三⁵、中田 健⁵、小林 篤^1,2 (1.理科大先進工、2.理科大院先進工、3.東大工、4.東大院工、5.住友電工)

キーワード：

ScAlN、GaN