講演情報
[17a-K403-1]溶存酸素分布と水素イオン分布を同時可視化可能なCMOSマルチモーダルセンサの製作
〇(M1)石井 悠翔1、土井 英生1、Kenny Gelianto1、堀尾 智子1、野田 佳子1、赤井 大輔1、飛沢 健1、崔 容俊1、高橋 一浩1、野田 俊彦1、澤田 和明1 (1.豊技大)
キーワード：
溶存酸素、水素イオン、同時計測
本研究では、溶存酸素（DO）とpHを同時可視化可能なCMOSマルチモーダルセンサを開発した。溶存酸素感応膜として機能する酸化イリジウム（IrOx）は、半導体フォトリソグラフィで窒化チタン（TiN）が堆積された電位検出型アレイセンサ上にパターン形成された。同時計測実験で液中のDOとpH変化に起因する電位応答の観察に成功し、製作したセンサ上でのマルチモーダルセンシングを実証した。