講演情報
[17a-K403-5]複数におい感応膜の応答を同時計測可能な電位検出型CMOSにおいセンサの作製と機能実証
〇西川 直希1、上條 友暉1、木村 安行1、野田 佳子1、赤井 大輔1、飛沢 健1、崔 容俊1、高橋 一浩1、澤田 和明1、野田 俊彦1 (1.豊橋技術科学大学)
キーワード：
においセンサ、CMOSアレイセンサ、電位センサ
我々の研究グループではCMOS電位センサアレイと複数の におい感応膜を一体化した においセンサを提案，実証してきた．本研究では，新たに提案した画素で構成したセンサアレイを作製・評価することで，従来同時計測不可能であった複数感応膜の同時計測を可能であることを実証した．多数種の感応膜で生じる様々な応答を同時計測することで，多角的な情報の取得につながり，におい計測の性能向上が期待できる．