講演情報
[17a-K403-6]3次元応力とpHの同時計測に向けたマルチモーダルイメージセンサの製作
〇鈴木 まみ1、土井 英生1、伊藤 大真1、堀尾 智子1、小笠原 健2、清水 聡2、赤井 大輔1、飛沢 健1、崔 容俊1、高橋 一浩1、野田 俊彦1、澤田 和明1 (1.豊橋技科大、2.ダイキンファインテック(株))
キーワード：
3次元応力、水素イオン、電位検出型CMOSアレイセンサ
メカノバイオロジーへの応用に向けた応力とpHを同時計測するCMOSマルチモーダルセンサを製作し，力とpH 応答に対するセンサの機能を検証した．製作したセンサ上にpH7溶液を乗せ，ナイロン繊維で構造体に剪断力を印加後，pH8溶液を滴下することで応力とpHを同時計測した結果，構造体直下とpH感応領域の画素で応力とpH変化に起因する画像応答が得られ，応力とpHの液中マルチモーダルセンシングに成功した．