講演情報

[17a-K403-7]計測対象の状態変化に対応可能なイオンイメージセンサの作製と特性評価

〇佐藤 諒芽1、本庄 瑠奈1、野田 佳子1、赤井 大輔1、飛沢 健1、木村 安行1、崔 容俊1、高橋 一浩1、澤田 和明1、野田 俊彦1 (1.豊橋技科大)

キーワード:

イオンイメージセンサ、pH計測、農業用センサ

我々の研究グループでは,植物体内のpHを測定可能な刺入型イオンイメージセンサが開発されてきた.しかし,長期測定時では計測対象の状態変化により,pH検出誤差が生じる課題がある.そこで,特性の異なる2つのセンサ画素を組み合わせることで,特性変動の影響を除去する手法を提案し,センサ設計,作製を行った.試作したセンサは提案手法に対応した特性が得られたため,長期測定時の計測対象の特性変動への対応に期待できる.