講演情報
[17a-K504-2]複合成膜手法により成膜された SiO2-TiO2混合膜の親水性の検討
〇佐々木 康詩郎1、室谷 裕志1、松平 学幸2 (1.東海大院工、2.(株)シンクロン)
キーワード：
光学薄膜、親水性
本研究室ではEB蒸着とDCパルススパッタリングを同一真空容器内で同時に稼働させる複合成膜手法を開発した．この手法によるSiO2薄膜は，低屈折率かつ長期間の親水性を示すことが知られているが，一度悪化した親水性を回復させることは困難である．そこで光触媒作用による超親水性をもつTiO2との混合膜を成膜することで、両材料の特性をあわせ持つ薄膜の作製が期待できる。本研究では複合成膜手法で作製したSiO2-TiO2混合膜の親水性を検討した．