講演情報
[17a-K506-4]超短パルスレーザー強度変調加工におけるシリカガラス内部欠陥形成のアブレーション効率への影響
〇吉富 大1、小川 博嗣1、高田 英行1、小林 洋平2、奈良崎 愛子1 (1.産総研、2.東大物性研)
キーワード：
レーザー加工、シリカ、欠陥
シリカガラスの超短パルスレーザー加工において、パルス列の強度が時間的に増加・減少するランプ変調を加えると、増加ランプに比べて減少ランプの加工効率が著しく大きい。繰り返しレートを変えた実験から永続的効果が大きく寄与しており、顕微PL測定から内部欠陥形成が関係していることを明らかにした。