[17a-K507-1~5] 7.1 X線技術

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[17a-K507-2] 再帰的エネルギー分割Shirley法によるXPSバックグラウンド生成

〇趙 祥勲¹、倪 澤遠¹ (1.東京エレクトロン(株))

キーワード：

X線光電子分光、スペクトル解析、バックグラウンド