講演情報

9:30 〜 9:45

[17a-Y1311-3]β-Ga₂O₃基板上に形成したNiO層のクラックと歪

〇中込真二¹ (1.石巻専修大理工)

酸化ニッケル、酸化ガリウム、熱膨張

Ga₂O₃基板上に形成したNiO層にクラックが生じることがある。この方向は基板a軸に平行である。
Ga₂O₃基板の熱膨張係数の異方性に起因して発生している可能性がある。また、基板を傾けてX線回折測定をすることでNiOの格子歪の測定を試みた。