講演情報
[17p-K101-1]ダイポールによりしきい値電圧制御したFDSOI MOSFETにおける特性ばらつきの測定
〇(M2)鄭 スジョン1、水谷 朋子1、竹内 潔1、更屋 拓哉1、小林 正治1、平本 俊郎1 (1.東大生研)
キーワード：
半導体、特性ばらつき、ダイポール
FDSOI MOSFETにおけるダイポールがしきい値電圧(Vth)ばらつきとオン電流ばらつきに与える影響を調査した．Vth制御においてダイポール制御はチャネルドー ピングと比較して特性ばらつきを増大させずにVthを上昇させることができるこ とを明らかにした．
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