講演情報
[17p-K101-8]β-(Al,Ga)2O3疑似縦型ショットキーバリアダイオードの電気的特性
〇中野 晃汰1、森田 燎1、賈 贇1、奥村 宏典1、櫻井 岳暁1 (1.筑波大院数物)
キーワード：
半導体、酸化ガリウム、ショットキーバリアダイオード
β型酸化ガリウム(β-Ga2O3)は、絶縁破壊電界強度(Ec)が大きく、融液成長可能であることから、低価格パワーデバイス用材料として着目されている。より大きいEcを持ちうるβ-(Al,Ga)2O3を利用することで、更なる高耐圧化が期待できる。本研究では、β-(Al,Ga)2O3層をチャネルとした疑似縦型ショットキーバリアダイオード(SBD)を作製し、電気的特性を評価した。