講演情報
[17p-K103-2]ミニマル液体ドーパント・プロセスに用いたMOSFETのシート抵抗の面内均一化(II)
〇中道 修平1、本郷 仁啓2、三浦 典子2、池田 伸一2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)
キーワード：
ミニマルファブ、SODコート、不純物ドーピング
ミニマルファブでは、不純物拡散にはSOD材料を用いた熱拡散方法を採用している。
しかし、ボロンドープpMOSFETにおいてシート抵抗は、ばらつきが大きく抵抗が大きい状態だった。
今回このボロンドープ材料の塗布条件と塗布後のベーク温度を見直しすることで、
シート抵抗値の低減と面内ばらつきを小さくするプロセスを開発したので報告する。
しかし、ボロンドープpMOSFETにおいてシート抵抗は、ばらつきが大きく抵抗が大きい状態だった。
今回このボロンドープ材料の塗布条件と塗布後のベーク温度を見直しすることで、
シート抵抗値の低減と面内ばらつきを小さくするプロセスを開発したので報告する。