[17p-K202-1~7] 13.3 絶縁膜技術

14:30 〜 14:45

[17p-K202-7] CVD法を用いたGeO₂/Ge構造の作製及び評価

〇鈴木 拓光¹、井上 拓紀¹、石塚 啓太¹、岩崎 好孝¹、上野 智雄¹ (1.農工大院工)

キーワード：

CVD