[17p-K301-1~14] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

13:15 〜 13:30

[17p-K301-1] Double-Dope構造InP-HEMTによるインパクトイオン化ノイズの低減

〇佐々木 太郎¹、堤 卓也²、杉山 弘樹¹、吉屋 佑樹¹、星 拓也¹、宮本 恭幸³、中島 史人¹ (1.NTT先デ研、2.大阪公立大、3.東京科学大)

キーワード：

InP-HEMT、ダブルドープ、インパクトイオン化

本講演では、Double-dope構造によるインパクトイオン化の抑制が、ノイズ低減にも効果的であることについて報告する。