[17p-K303-1~8] 8.1 プラズマ生成・診断

15:15 〜 15:30

[17p-K303-6] 機械学習を用いたArイオンビームプロファイルの解析

〇金 度漢¹、川村 隼也¹、内藤 真誉¹、鈴木 陽香¹、飯野 大輝²、福水 裕之²、栗原 一彰²、豊田 浩孝¹ (1.名大、2.キオクシア（株))

キーワード：

イオン角度分布計測