[17p-K304-1~8] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

14:00 〜 14:15奨励賞エントリー

[17p-K304-3] 反応性大気圧熱プラズマジェットによる熱処理したフォトレジストに対するエッチング特性とEBRプロセスへの適用

〇(M2)松本 響平¹、Jiawen Yu¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大先進理工)

キーワード：

プラズマ、エッチング、フォトレジスト

フォトレジスト(PR) のスピンコート塗布では、PRがウェハエッジ部で厚くなるエッジビードの形成や裏面への回り込みが生じ、露光工程の妨げや剥離による歩留まり低下の要因となる。そのため、現在は有機溶剤により端部のPRを除去するEdge Bead Removal (EBR) 工程が導入されている。しかし有機溶剤の最終廃液処分に伴う排出量の削減は、カーボンニュートラル達成の上で解決しなければならない課題である。我々はArとO2を用いた反応性大気圧熱プラズマジェット(R-TPJ) をPRに照射することで84 µm/sと高いエッチングレートを報告した。本研究では、製造プロセスを想定し、熱処理したサンプルに対するR-TPJのエッチング特性の調査を行った。また、R-TPJを用いたエッジ部のPR除去装置を構築し、EBRプロセスへの適応性評価を行った。