[17p-K305-1~12] 3.13 シリコンフォトニクス・光電融合集積・光制御

15:30 〜 15:45

[17p-K305-8] Si基板上SiO₂窓構造への異種材料小片接合プロセスに向けたエッチングプロセスの検討

〇吉井 大翔¹、菊地 健彦¹、守田 憲司¹、北村 俊昭¹、西山 伸彦^1,2 (1.東京科学大工、2.技術研究組合光電子融合基板技術研究所)

キーワード：

異種材料集積