講演情報
[17p-K308-7]AICで形成した種結晶層上でのアモルファスシリコン膜のFLAによる結晶化促進
〇(M2)李 柏同1、Huynh Thi Cam Tu1、大平 圭介1 (1.北陸先端大)
キーワード：
フラッシュランプアニール
AICで形成された種結晶層上における、FLAによる異なるプレヒート条件でのa-Si膜の結晶化を実施した。300℃以上のプレヒート条件でa-Siの結晶化が可能であり、また、結晶化後に試料表面に見られる波紋状の構造から横方向結晶化速度を導出したところ、種結晶層の利用により結晶化速度が向上することが明らかになった。