講演情報
[17p-K308-8]V-Te薄膜の相変化に伴う物性変化
〇(M1)折原 周平1、双 逸1,2、安藤 大輔1、須藤 祐司1,2 (1.東北大工、2.東北大AIMR)
キーワード：
薄膜、相変化、V-Te
MnTeは、異なる結晶相間の可逆的な相変化による抵抗スイッチングが可能である。本研究では、MnTeと同様の遷移金属テルライドであるV-Te二元系薄膜をマグネトロンスパッタリングによって成膜し、相変化挙動と相変化に伴う物性変化を調査した。成膜ままはアモルファス相であり、熱処理によりV3Te4相を介して、V5Te8相に相変化した。相変化に伴う物性変化は他の相変化材料と比較して小さいことが確認された。