講演情報
[17p-K308-9]熱処理によるSb-Se蒸着膜の状態密度変化
〇後藤 民浩1、澤田 航1 (1.群馬大理工)
キーワード：
アモルファスカルコゲナイド、状態密度、光熱偏向分光法
AIの急速な普及により、メモリの高性能化、特に高密度化が求められている。2端子による高密度化には、漏れ電流の抑止のためセレクタが必要となる。セレクタとして用いられるアモルファスカルコゲナイドの電子物性には未だ不明な点が残されており、性能向上の障害となっている。そこで、我々は2元系カルコゲナイドのSb-Seに着目した。光熱偏向分光法を用い、熱処理による状態密度の変化を観測した。