[17p-K501-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

14:30 〜 14:45

[17p-K501-6] アルカリ金属を吸着させた酸化チタン薄膜トランジスタの特性評価

〇宮澤 諒¹、鈴木 晴登¹、竹田 響綺¹、廣瀬 文彦¹ (1.山形大院理工)

キーワード：

薄膜トランジスタ、原子層堆積法、アルカリ金属