講演情報
[17p-K501-7]Cu/CuO混合ターゲットを用いたDCスパッタによるCu2O膜のキャリア拡散長の改善
〇関口 晨雄1、畑川 健勝1、宮島 晋介1 (1.Science Tokyo)
キーワード：
Cu2O、太陽電池、拡散長
4端子型タンデム太陽電池のトップセルとして毒性を持たないCu2O太陽電池が注目されている。我々のグループでは低コストかつ高速製膜が可能な製膜手法として、Cu /CuO混合ターゲットによるDCスパッタでのCu2O膜の形成を検討してきた。太陽電池応用に向けた高品質なCu2O膜を実現するため、本研究ではCu2O膜のキャリア拡散長に焦点を当て、表面/界面の状態が及ぼす影響と拡散長が向上する現象について研究している。