講演情報
[17p-K505-12]三次元アトムプローブとTEMデータの融合に向けた非剛体レジストレー ション手法の開発
〇赤瀬 善太郎1、大竹 義人1、埋橋 淳2、岩満 一功1、山﨑 順3、大久保 忠勝2、冨谷 茂隆1 (1.奈良先端大、2.物質・材料研究機構、3.大阪大学)
キーワード：
三次元アトムプローブ、透過型電子顕微鏡、非剛体レジストレーション
半導体デバイスの高性能化に伴い、微量不純物の三次元分布を高精度に把握する重要性が高まっている．我々は，3DAPと電子線トモグラフィーのモダリティの異なるデータに対し非剛体レジストレーション技術を活用する高感度・高分解能な解析手法の開発に取り組んでいる．発表では，Bスプライン変形場による歪み補正とCMA-ESを用いて，二次元模擬データおよび実データでの位置合わせを実現した例を示す．