[17p-K507-1~6] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

13:15 〜 13:30

[17p-K507-2] 軟X線照射によるハロゲン化ポリスチレン架橋体生成とX線エネルギー依存性

〇中川 清子¹、大原 麻希²、横谷 明徳²、宇佐美 徳子³ (1.都産技研、2.量研機構、3.高エネ研)

キーワード：

高分子架橋、ハロゲン化ポリスチレン、軟X線照射

軟Ｘ線を照射した時のハロゲン化ポリスチレンの架橋体生成量と照射Ｘ線のエネルギーの関係を調べた。Ｘ線 のエネルギーがハロゲンの吸収端に近いほど、低線量で架橋体の生成がサチレーションし、生成量（厚さ）も 増加することがわかった。