[17p-K507-1~6] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術 | 2025年第72回応用物理学会春季学術講演会

セッション詳細

一般セッション(口頭講演)7 ビーム応用：7.3 微細パターン・微細構造形成技術

2025年3月17日(月) 13:00 〜 14:45

K507 (講義棟)

山本治朗(日立)、谷口淳(東理大)

13:00 〜 13:15

〇堀内敏行¹、大塚直幸¹、福原豪晴¹、小林宏史¹ (1.東京電機大学工)

13:15 〜 13:30

〇中川清子¹、大原麻希²、横谷明徳²、宇佐美徳子³ (1.都産技研、2.量研機構、3.高エネ研)

13:30 〜 13:45英語発表

〇(D)Yandong Yang¹, Shin'ichi Warisawa¹, Reo Kometani¹ (1.Univ. of Tokyo)

14:00 〜 14:15

〇川田博昭¹、山﨑滉太¹、舩戸魁¹、松山哲也¹ (1.大阪公立大工)

14:15 〜 14:30

〇(D)光田健洋^1,2、長藤圭介¹、中尾政之¹ (1.東大院工、2.AGC株式会社)

14:30 〜 14:45

〇渡邊万絢¹、森智衆¹、中村文²、板谷太郎²、前田讓治¹、天野健² (1.東京理科大学、2.産業技術総合研究所)