2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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14:45 〜 15:00
[17p-Y1311-6]
(011)面β-Ga
2
O
3
上のHCl ガスエッチング特性
〇大島 孝仁
1
、大島 祐一
1
(1.NIMS)
キーワード：
酸化ガリウム、結晶異方性エッチング、(011)
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