[17p-Y1311-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

15:00 〜 15:15注目講演

[17p-Y1311-7] 結晶異方性ガスエッチングによる(100) β-Ga₂O₃ 上のエアブリッジ作製

〇大島 孝仁¹、大島 祐一¹ (1.NIMS)

キーワード：

酸化ガリウム、結晶異方性エッチング、(100)