講演情報
[17p-Y1311-8]炉内酸素分圧適正化による4インチVB法β-Ga2O3単結晶育成
〇笠井 凱貴1、小林 壮1、大宮 敏光1、太子 敏則1、干川 圭吾1 (1.信大工)
キーワード：
酸化ガリウム、単結晶育成、ブリッジマン法
我々は大気中で1800℃を超える高温垂直ブリッジマン(VB)炉を開発し、2インチβ-Ga2O3単結晶育成を可能にした。さらなる結晶の大形化に向けて、使用するPt-Rh合金るつぼや熱電対の劣化・損傷・破損を回避するためには、炉内温度条件に加えて炉内雰囲気(酸素分圧：Po2)の適正化が必要と考え、熱力学平衡計算ソフトウェアFactSageによる計算予測とGa2O3融解実験から最適炉内条件を提案し、4”Φ、35mm長の単結晶育成に成功したので報告する。