講演情報
[17p-Y1311-9]高感度エミッション顕微鏡およびSEM観察による(001)面方位HVPEβ型酸化ガリウムショットキーバリアダイオードのキラー欠陥の同定
〇江口 正徳1、大坪 優斗2、ニロイ サハ2、ラオ バダリ3、林 家弘3、佐々木 公平3、大石 敏之2、嘉数 誠2 (1.佐賀大シンクロトロン、2.佐賀大理工、3.ノベルクリスタル)
キーワード：
β型酸化ガリウム、キラー欠陥、エミッション顕微鏡
我々は、β型酸化ガリウム（β-Ga2O3）基板上にハライド気相成長（HVPE）法によりホモエピタキシャル成長したエピ膜に縦型ショットキーバリアダイオード（SBD）を作製し、エミッション顕微鏡および電子顕微鏡（SEM）観察を行ったところ、サブミクロンのボイドがリーク電流経路であることを見出し、その構造とリーク電流のメカニズムを明らかにしたので報告する。