2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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一般セッション(ポスター講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.3 プラズマナノテクノロジー

[16p-P03-1~2]8.3 プラズマナノテクノロジー

2025年3月16日(日) 13:30 〜 15:30
P03 (森戸記念体育館)

[16p-P03-1]PECVD法による超はっ水性SiO:CH微粒子堆積膜の作製

〇西尾 舞雪1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大工、2.関東学院大)

[16p-P03-2]次世代全固体LiB向けSiナノ粒子粒状電極の実装要件のSFE視座検討

〇神原 淳1、久徳 空1、萩原 翼1 (1.大阪大工)
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