[10p-B12-1~7] KS5 原子層プロセス研究会 | 2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会

セッション詳細

一般セッション(口頭講演)KS 研究会セッション：KS5 原子層プロセス研究会

2026年9月10日(木) 14:00 〜 15:45

B12 (工学部 B棟)

14:00 〜 14:15

〇西里洋¹、石田栞大¹、中家佑吾²、奈須錦一³、平山幹朗³、金蓮花⁴、百瀬健³ (1.熊大自、2.堀場エステック、3.熊大半導体、4.山梨大院総合)

14:15 〜 14:30奨励賞エントリー

〇(D)土射津佑起¹、大堀大介²、大塚照久³、山崎将嗣³、有本宏³、遠藤和彦¹ (1.東北大学流体研、2.関西大学システム理工、3.産総研)

14:30 〜 14:45

〇市木和弥¹、東雲秀司¹ (1.東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)

14:45 〜 15:00

〇宮城晴英¹、嶋田省吾¹、清野篤郎¹、中谷公彦¹、柄澤元¹、佐々木隆史¹ (1.株式会社 KOKUSAI ELECTRIC)

15:00 〜 15:15

〇小松裕之¹、柴田理古¹、若林宣彰¹、亀井康孝¹、赤木壮一郎²、横山皓太²、田井祐吾² (1.JSR、2.JEMT)

15:15 〜 15:30

〇村田逸人^1,2、大山皓介²、長谷川美紀子²、安齊廷玄²、清水秀治²、平山幹朗³、百瀬健³ (1.熊大院自、2.日本酸素株式会社、3.熊大半導体)

15:30 〜 15:45

〇永井総雅¹、佐藤登¹、大髙雄平¹、玉置直樹¹、筑根敦弘¹、霜垣幸浩¹ (1.東大院工)