講演情報
[3C15]ミニマルファブを活用した新しい実践的半導体教育
○猪原 武士1、城野 祐生2、日比野 祐介1、竹市 悟志1、濵田 裕康3、下田 貞幸4 (1. 佐世保工業高等専門学校電気電子工学科、2. 佐世保工業高等専門学校物質工学科、3. 佐世保工業高等専門学校基幹教育科、4. 佐世保工業高等専門学校)
キーワード：
半導体教育、実験実習、ミニマルファブ
佐世保高専では全国で初めて，ミニマルファブを活用した実践的な半導体教育を実施している．ミニマルファブは多品種少量生産が可能な半導体製造装置群であり，クリーンルームを必要としない．本稿ではこれまでに実施した半導体教育の取り組みを紹介する．