[J012] 解析・設計の高度化・最適化 (2)

10:40 〜 10:55

[J012-07] Ar/CH₄混合ガスを用いたICPプラズマの3Dモデル

〇王 晶¹、有田 圭秀¹、佟 立柱¹ (1. 計測エンジニアリングシステム株式会社)

キーワード：

誘導結合型プラズマ、3次元解析、計算効率

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