講演情報

[J012-07]Ar/CH4混合ガスを用いたICPプラズマの3Dモデル

〇王 晶1、有田 圭秀1、佟 立柱1 (1. 計測エンジニアリングシステム株式会社)

キーワード:

誘導結合型プラズマ、3次元解析、計算効率