[J111] 次世代アクチュエータシステム

9:15 〜 9:30

[J111-02] 交流電気浸透を用いた2次元流体操作マイクロデバイスの提案

定本 斎¹、〇吉田 和弘¹、金 俊完¹ (1. 東京工業大学)

キーワード：

交流電気浸透、2次元流体操作、MEMS、アクチュエータ、絶縁形交流電気浸透