講演情報

[J111-03]汎用型空気圧シリンダのナノメートルオーダー位置決め制御

〇高岩 昌弘1、Lim WenChiang1 (1. 徳島大学)

キーワード:

汎用型空気圧アクチュエータ、精密位置決め制御、産業応用