講演情報

[J113p-09]真実接触状態の把握を目的とする複素屈折率測定の光学モデルの検討

〇原 大靖1、服部 泰久2 (1. 東海大学大学院、2. 東海大学)

キーワード:

真実接触、複素屈折率、エリプソメトリー、表面粗さ