講演情報

[J114-03]ta-C膜のトライボロジー特性に及ぼす5族元素金属添加の影響

〇野老山 貴行1、谷川 亜聡1、張 鋭璽1、鈴木 康介1、梅原 徳次1 (1. 東海国立大学機構名古屋大学)

キーワード:

摩擦、摩耗、トライボロジー、DLC、ta-C