[J114] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用

9:30 〜 9:45

[J114-03] ta-C膜のトライボロジー特性に及ぼす5族元素金属添加の影響

〇野老山 貴行¹、谷川 亜聡¹、張 鋭璽¹、鈴木 康介¹、梅原 徳次¹ (1. 東海国立大学機構名古屋大学)

キーワード：

摩擦、摩耗、トライボロジー、DLC、ta-C

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