[J114] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用

9:45 〜 10:00

[J114-04] 溝配列パターン上のDLC膜の摩擦摩耗特性に及ぼす雰囲気の影響

白石 直之¹、〇安藤 泰久¹、中野 美紀² (1. 東京農工大学 大学院、2. 産業技術総合研究所)

キーワード：

DLC、溝配列パターン、真空

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