[J114p] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用

[J114p-01] 誘電体バリア放電を用いた鋼の大気圧プラズマ窒化処理

〇佐々木 諒¹、宮本 潤示¹ (1. 大同大学)

キーワード：

大気圧プラズマ窒化処理、誘電体バリア放電、鋼