[J114p] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用

[J114p-03] 電位分布制御による高速原子ビームの照射均一化

〇日野 太智¹、岡 智絵美¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学大学院)

キーワード：

常温直接接合、表面活性化接合、高速原子ビーム源

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