講演情報
[J114p-04]高速原子ビーム源による表面活性化接合の酸化膜除去量推定
〇髙松 佑哉1、大島 京祐1、加藤 泰成1、岡 智絵美1、櫻井 淳平1、秦 誠一1 (1. 名古屋大学)
キーワード:
表面活性化接合(SAB)、高速原子ビーム源、プラズマシミュレーション
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