[J114p] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用

[J114p-04] 高速原子ビーム源による表面活性化接合の酸化膜除去量推定

〇髙松 佑哉¹、大島 京祐¹、加藤 泰成¹、岡 智絵美¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学)

キーワード：

表面活性化接合（SAB）、高速原子ビーム源、プラズマシミュレーション