[J114p] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用

[J114p-06] 交互磁場形高速原子ビーム源におけるパーティクル排出の定量的評価

〇三好 勇貴¹、加藤 泰成¹、岡 智絵美¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学)

キーワード：

常温直接接合、表面活性化接合、高速原子ビーム源、スパッタ、アルゴンプラズマ

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