講演情報
[J114p-10]マイクロ・ナノパターン上の摩擦力分布測定
〇甲斐 敦士1、安藤 泰久1 (1. 東京農工大学)
キーワード:
摩擦力分布測定、レンズプローブカンチレバー、ナノストライプ構造、AFM、メニスカス
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摩擦力分布測定、レンズプローブカンチレバー、ナノストライプ構造、AFM、メニスカス