講演情報
[J131-04]電界スラリー制御技術を適用したスモールツールによる高効率研磨技術の開発
〇佐藤 颯奏1、細川 遥花1、池田 洋1、久住 孝幸2、會田 英雄3、千葉 翔悟4 (1. 秋田工業高等専門学校、2. 秋田県産業技術センター、3. 長岡技術科学大学、4. 株式会社斉藤光学製作所)
キーワード：
small tool、polishing、electric field、slurry
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